میکروسکوپ الکترونی روبشی

  میکروسکوپ الکترونی روبشی (scanning electron microscope)، که بیشتر با نام اختصاری SEM شناخته می شود، یک میکروسکوپ الکترونی ست که به خاطر جزئیات تصویری خوبی که از سطح یا نزدیک سطح (near surface) نمونه فراهم می کند، به یک ابزار آنالیزی متداول و قابل اعتماد تبدیل شده است.

   در میکروسکوپ الکترونی روبشی، یک پرتو الکترونی در یک پروب (پیمایشگر) ظریف متمرکز شده و یک سطح مستطیلی کوچکی از نمونه به صورت خطوط موازی (raster) پیمایش می شود. پرتوهای الکترونی معمولا انرژی ۵۰-۱۰ کیلوالکترون ولت (kev) دارند.

در برخورد الکترون با نمونه سیگنال های مختلفی شامل الکترون های ثانویه (secondary electron)، الکترون های برگشتی (backscatter electrons)، الکترون اوژه (Auger electrons)، الکترون های عبوری (Transmitted electrons)، الکترون های جذب شده (absorbed electrons)، پرتو ایکس و لومینسانس ایجاد شده و قابل شناسایی هستند. شکل ۱ انواع برهم کنش ها و سیگنال های تولید شده در برخورد پرتو الکترونی با سطح نمونه را نشان می دهد… ادامه مطلب