آنالیز پروفایل عمق

   طیف سنجی جرمی یون ثانویه (Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS)   با اسم متداول و اختصاری SIMS یکی از قوی ترین تکنیک های مورد استفاده در مطالعات سطح است. در این روش پرتوی از یون های اولیه پرانرژی (kVه30-1) به سطح نمونه ای که در خلاء قرار داده شده، تابانده می شود. یون سزیوم (+Cs)، یون گالیم (+Ga) یا یون اکسیژن (+O2) معمولا به عنوان یون های اولیه به کار می روند. بر اثر برخورد یون های پرانرژی قسمتی از…