تعیین پروفایل عمق

طیف سنجی نشر اتمی تخلیه تابش (GD-AES)

   همان طور که از عنوان روش طیف سنجی نشر اتمی تخلیه تابش پیداست، مکانیسم تخلیه تابش روش اتمی کردن و تهییج اتم ها در این تکنیک است. در روش های مبتنی بر تخلیه تابشی از مکانیسم تخلیه تابش (Glow discharge) جهت اتمی کردن و تهییج عناصر موجود در نمونه استفاده می شود. منابع تخلیه تابش از منابع اولیه و شناخته شده اتمی کردن عناصر است که در پروژه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گرفت. اما در رقابت با…